矽智財大廠安謀（ARM）與台積電(2330)宣布對7奈米FinFET製程技術進行合作，
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，隨著全球半導體大廠持續製程升級，
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，對設備廠漢微科(3658)、家登(3680)有利，
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，兩檔股價強攻。台積電預計今年資本支出將達90～100億美元，
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，較去年增加11～23%，
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，除了用於擴充10奈米產能外，
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，也加快7奈米、5奈米的研發速度。台積電日前在法說會指出，
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，7奈米研發如預期，
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，將在2018年上半年量產，
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，5奈米可望在7奈米量產的2年後、亦即2020年上半年開始量產。7奈米以下先進製程繼續採用多重曝影（multi-patterning）浸潤式（immersion）微影技術的成本太高，半導體大廠今年確立將導入極紫外光（EUV）技術。繼英特爾將自7奈米製程世代開始採用EUV量產後，台積電、三星均開始評估在5奈米採用EUV技術生產邏輯晶片。隨著全球EUV產能在今年逐季拉升，極紫外光光罩盒（EUV Pod）供應商家登出貨可望持續增溫，加上今年前2月營收年增逾一成表現不淡，股價強攻漲停。電子束檢測設備廠漢微科(3658)亦可受惠半導體先進製程開發，加上3月業績可望彈跳，股價強攻站回千元。漢微科2月營收下滑至5206萬元，比1月減少76.3%，今年1~2月營收2.71億元，比去年同期減少53.32%。預期第一季營收比上季減少4~5成，由此推估3月營收將回升至6億元之上。漢微科先前預期，第1季營運表現恐將疲弱，第2季起業績可望恢復成長，今年業績可望成長2位數百分點。(時報資訊)，